ホーム > 製品情報 > 産業機器部品 > 半導体製造装置用部品
半導体製造装置用部品
真空チャック用プレート
用途
シリコンウェハ、液晶パネル等のチャッキング部品。
材料
アルミナ(KP-95、KP-990、KP-999など) 。
特徴
加工装置に合わせた表面の凹凸仕上げ加工がミクロンオーダーで出来ます。
サイズは12インチ用まで、製作出来ます。
静電チャック用プレート
用途
シリコンウェハ、液晶パネル等のチャッキング部品。
材料
アルミナ(KP-92など) 。
特徴
加工装置に合わせ、表面の仕上げ加工、内部構造、ガス流動の設計が可能です。
サイズは12インチ用まで、製作できます。
