Product For Semiconductor Manufacturing Equipment半導体製造装置部品

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半導体製造装置部品について

セラミックスが静電気を帯びる特性を活かし、半導体製造装置でも利用されています。

主な製品

真空チャック

  • ウェハ検査装置

用途

シリコンウェハ、液晶パネル等のチャッキング部品。

材料

アルミナ(KP-95、KP-990)にDLCコーティングも可能です。

特徴

加工装置に合わせた表面凹凸仕上げ加工をナノレベルで対応します。また全面マッピングデータの測定も可能です。サイズは18インチ用まで対応可能です。

※グループ会社の株式会社NTKセラテック取り扱い製品です。

NTK CERATEC

静電チャック

  • エッチング装置 CVD装置 イオン注入装置

用途

ETCH、CVD、イオン注入装置に使用されます。

材料

アルミナなど。

特徴

バルクセラミック製で、高いプラズマ耐性・プロセスガス耐性を有しています。また、内蔵されるヒータにより、高い面内温度均一性を可能にし、ますます微細化する半導体製造プロセスに貢献しています。

セラミックハンド

  • ウェハ検査装置

用途

シリコンウェハ搬送用エンドエフェクターに使用されます。

材料

優れた耐摩耗性と高剛性のアルミナKP-990などがあります。

特徴

サイズは18インチまで対応可能です。真空チャックや静電チャックの機能もハンドに追加できます。静電チャック機能付きハンドは真空中での搬送も可能です。

治具類

  • エッチング装置

用途

シリコンウェハ上の回路加工工程での温度測定用治具です。

材料

耐食性に優れ不純物の発生が少ない高純度アルミナが使われます。

特徴

金型プレス、静水圧プレスによる成形と焼成前加工焼成後研磨技術を駆使し、異形状、高精度の加工が可能です。耐熱、耐摩耗、耐薬品性に優れ各種半導体製造装置に使用されています。

※グループ会社の株式会社NTKセラテック取り扱い製品です。

NTK CERATEC